(19)国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告 号 (45)授权公告日 (21)申请 号 202221340028.6 (22)申请日 2022.05.31 (73)专利权人 黑龙江工业学院 地址 158000 黑龙江省鸡西市鸡冠区和平 南大街99号 (72)发明人 高晓琳　魏源　卢婧　 (74)专利代理 机构 苏州国卓知识产权代理有限 公司 323 31 专利代理师 潘昱 (51)Int.Cl. H04N 5/225(2006.01) B08B 5/04(2006.01) B08B 13/00(2006.01) G03B 17/56(2021.01) (54)实用新型名称 一种退火炉加热区视频监控 装置 (57)摘要 本实用新型涉及半导体制造监控技术领域， 且公开了一种退火炉加热区视频监控装置， 包括 安装架及摄像头， 安装架上固定有与摄像头配合 的防干扰组件， 防干扰组件包括外壳， 外壳中固 定有滤网， 滤网一侧固定有罩体， 罩体与外壳间 形成吸附腔， 安装架上固定有抽气泵， 抽气泵与 外壳间连通有导气管。 本实用新型中摄像头工作 时同时打开抽气泵， 将吸气作用沿导气管传递到 外壳一侧， 在罩体与外壳间的吸附腔中形成负 压， 将烟气从摄像头的周侧吸取到滤网与罩体 间， 滤网对烟气进行阻隔， 烟气冷却后形成的灰 尘聚集在罩体与滤网间， 而不与摄像头产生附 着， 相较于传统的通过清刷来对摄像头除尘， 本 方案在除尘时不与摄像头表面接触， 避免了摄像 头的磨损。 权利要求书1页 说明书3页 附图4页 CN 217335715 U 2022.08.30 CN 217335715 U 1.一种退火炉加热区视频监控装置， 包括安装架(1)及摄像头(2)， 其特征在于： 安装架 (1)上固定有与摄 像头(2)配合的防干扰组件； 防干扰组件包括外壳(3)， 外壳(3)中固定有滤网(5)， 滤网(5)一侧固定有罩体(4)， 罩 体(4)与外壳(3)间形成吸附腔， 且罩体(4)边 沿处与外壳(3)间留有气隙， 摄像头(2)贯穿通 过滤网(5)及罩体(4)， 安装架(1)上固定有抽气泵(6)， 抽气泵(6)输出端与外壳(3)间连通 有导气管(7)。 2.根据权利要求1所述的一种退火炉加热区视频监控装置， 其特征在于： 所述罩体(4) 呈向外壳(3)外侧缩径的锥形壳状， 罩体(4)与摄 像头(2)的连接处设置有橡胶垫圈。 3.根据权利要求1所述的一种退火炉加热区视频监控装置， 其特征在于： 所述导气管 (7)伸入外壳(3)一端位于滤网(5)与摄 像头(2)尾端间。 4.根据权利要求1所述的一种退火炉加热区视频监控装置， 其特征在于： 所述外壳(3) 开设有收集槽， 收集槽 外固定有排废通道(8)， 收集槽位于罩体(4)与滤网(5)间。 5.根据权利要求4所述的一种退火炉加热区视频监控装置， 其特征在于： 所述排废通道 (8)与外壳(3)的连接 部位为硬质的方 形管， 远离外壳(3)一端上固定有柔 性的排料 软管。 6.根据权利要求1所述的一种退火炉加热区视频监控装置， 其特征在于： 所述安装架 (1)的底端固定有圆盘 状的底座， 底座上等距地配合有连接 螺钉。权　利　要　求　书 1/1 页 2 CN 217335715 U 2一种退火炉加热区视频 监控装置 技术领域 [0001]本实用新型涉及半导体制造监控技术领域， 具体为一种退火炉加热区视频监控装 置。 背景技术 [0002]退火炉是在半导体器件制造中使用的一种工艺设备， 主要作用在于加热多个半导 体晶片以影响其电性能， 在退火炉的使用时， 需要对其作用的半导体晶片进行实时的监控， 因此需要在设备的内部设置摄 像监控装置。 [0003]退火炉在使用时会产生烟气， 烟气的主要成分是灰尘， 附着到摄像头表面上时会 影响其拍摄效果， 现有的相关摄像设备在解决灰尘的干扰问题时往往采用对摄像头清扫的 处理方式， 这种 方式在作用时会需要毛刷与摄像头表面摩擦， 长期使用后会造成摄像头表 面的磨损， 影响正常的拍摄性能， 因此需要做出相应改进。 实用新型内容 [0004]本实用新型的目的在于提供一种退火炉加热区视频监控装置， 以解决上述背景技 术中提出的问题。 [0005]为实现上述目的， 本实用新型提供如下技术方案： 一种退火炉加热区视频监控装 置， 包括安装架及摄像头， 安装架上固定有与摄像头配合的防干扰组件， 防干扰组件包括外 壳， 外壳中固定有滤网， 滤网一侧固定有罩体， 罩体与外壳间形成吸附腔， 且罩体边沿处与 外壳间留有气隙， 摄像头贯穿通过滤网及罩体， 安装架上固定有抽气泵， 抽气泵输出端与外 壳间连通有导气管。 [0006]优选的， 所述罩体呈向外壳外侧缩径的锥形壳状， 罩体与摄像头的连接处设置有 橡胶垫圈。 [0007]优选的， 所述 导气管伸入外壳一端位于滤网与摄 像头尾端间。 [0008]优选的， 所述外壳开设有收集槽， 收集槽外固定有排废通道， 收集槽位于罩体与滤 网间。 [0009]优选的， 所述排废通道与外壳的连接部位为硬质的方形管， 远离外壳一端上固定 有柔性的排料 软管。 [0010]优选的， 所述 安装架的底端固定有圆盘 状的底座， 底座上等距地配合有连接 螺钉。 [0011]与现有技 术相比， 本实用新型 具有以下有益效果： [0012]1、 相较于传统的通过清刷来对摄像头除尘的方式， 本方案所采取的吸附式除尘不 与摄像头表面接触， 避免了摄像头的磨损， 另外， 对于烟气， 在其气体状态 时就将其吸 附除 去， 阻断了其在摄 像头上冷却成灰尘的过程， 除尘的时效性更 佳。 [0013]2、 对于排废通道， 其与外壳的连接部位为硬质的方形管， 远离外壳一端上固定有 柔性的排料 软管， 从而使得排料 软管的出口可以自行调整， 即排废作用的适用程度高说　明　书 1/3 页 3 CN 217335715 U 3