(19)国家知识产权局 (12)发明 专利申请 (10)申请公布号 (43)申请公布日 (21)申请 号 202211215700.3 (22)申请日 2022.09.30 (71)申请人 杭州长川科技股份有限公司 地址 310051 浙江省杭州市滨江区 聚才路 410号 (72)发明人 曾兵兵　张彩虹　陈思乡　潘剑凯　 刘军　 (74)专利代理 机构 北京康信知识产权代理有限 责任公司 1 1240 专利代理师 董文倩 (51)Int.Cl. G06T 7/00(2017.01) G06T 7/70(2017.01) G06T 7/13(2017.01) (54)发明名称 定位晶圆的中心点的方法、 装置、 存储介质 以及电子设备 (57)摘要 本申请公开了一种定位晶圆的中心点的方 法、 装置、 存储介质以及电子设备。 其中， 该方法 包括： 获取晶圆边界图像中第一目标位置对应的 第一晶圆边界点集合， 以及第二目标位置对应的 第二晶圆边界点集合； 将第一晶圆边界点集合中 的第一晶圆边界点与第二晶圆边界点集合中的 第二晶圆边界点进行随机组合， 得到多组边界点 对； 确定多组边界点对中每一对边界点之间的连 线得到多条连线； 获取多条连线中各个连线对应 的各中垂线， 根据各中垂线交点确定晶圆的中心 点。 本申请解决了由于晶圆边缘自身为不规则形 状采用最小二乘法或者霍夫圆法等直接进行晶 圆的中心的定位， 造成晶圆的中心点位置定位不 精确的技 术问题。 权利要求书2页 说明书14页 附图8页 CN 115546143 A 2022.12.30 CN 115546143 A 1.一种定位晶圆的中心点的方法， 其特 征在于， 包括： 获取晶圆边界图像中第 一目标位置对应的第 一晶圆边界点集合， 以及第 二目标位置对 应的第二晶圆边界点集合， 其中， 所述第一 目标位置与所述第二 目标位置为沿着晶圆的边 缘划分的两个预定位置； 将所述第一晶圆边界点集合中的第一晶圆边界点与所述第二晶圆边界点集合中的第 二晶圆边界点进行随机组合， 得到多组边界点对； 确定所述多组边界点对中每一对边界点之间的连线得到多条 连线； 获取所述多条连线中各个连线对应的各中垂线， 根据所述各中垂线交点确定所述晶圆 的中心点。 2.根据权利要求1所述的方法， 其特征在于， 根据 所述各中垂线交点确定所述晶圆的中 心点， 包括： 根据所述各中垂线交点确定晶圆的候选中心点 集合； 基于所述 候选中心点 集合求取集合质心的位置； 确定所述 集合质心的位置为晶圆的中心点 位置。 3.根据权利要求2所述的方法， 其特征在于， 根据 各中垂线交点确定晶圆的候选 中心点 集合， 包括： 根据所述各中垂线交点确定晶圆的第一中心集 合； 剔除所述第一中心集 合中的异常交点， 得到第二中心集 合； 确定所述第二中心集 合为所述晶圆的候选中心点 集合。 4.根据权利要求2所述的方法， 其特征在于， 基于所述候选 中心点集合求取集合质心的 位置， 包括： 获取所述候选 中心点集合在横轴方向两边像素和相等的第 一位置， 以及所述候选 中心 点集合在纵轴方向两边像素和相等的第二 位置； 确定所述第一 位置与所述第二 位置组成的坐标点 位置为所述 集合质心的位置 。 5.根据权利要求2所述的方法， 其特征在于， 根据 所述各中垂线交点确定所述晶圆的中 心点， 包括： 根据所述各中垂线交点确定晶圆的候选中心点 集合； 确定由所述 候选中心点 集合组成的几何形状的几何中心； 确定所述几何中心为所述晶圆的中心点 位置。 6.根据权利要求1所述的方法， 其特征在于， 在根据 所述各中垂线交点确定所述晶圆的 中心点之后， 所述方法还 包括： 获取所述晶圆中所有晶圆边界点集合， 其中， 所有晶圆边界点集合至少包括： 所述第一 晶圆边界点 集合、 所述第二晶圆边界点 集合； 计算晶圆的中心点至各个晶圆边界点集合中的每个边界点的距离值， 并获得对应于各 个晶圆边界点 集合的各个距离集 合； 计算距离集合中的距离值与晶圆理论半径的差值， 确定各个距离集合对应的各个差值 集合； 根据各个差值 集合获取晶圆的确定中心点。 7.根据权利要求6所述的方法， 其特征在于， 计算晶圆的中心点至各个晶圆边界点集合权　利　要　求　书 1/2 页 2 CN 115546143 A 2中的每个边界点的距离值， 并获得对应于各个晶圆边界点 集合的各个距离集 合， 包括： 计算晶圆的中心点至各个晶圆边界点 集合中的每 个边界点的距离值； 在所述距离值中去除晶圆的中心点与干扰点的距离值， 以得到对应于各个晶圆边界点 集合的各个距离集 合， 其中， 所述干扰点 为大于预设阈值的边界点。 8.根据权利要求6或7所述的方法， 其特征在于， 根据各个所述差值集合获取晶圆的确 定中心点， 包括： 将各差值 集合内的值与误差阈值比较； 若至少有两个差值集合内的值均满足预设误差范围， 确定所述晶圆的中心点为所述晶 圆的确定中心点； 若各个差值集合的值均不满足所述预设误差范围， 计算各个差值集合内的差值的均 值， 基于所述均值更新所述晶圆的中心点， 获得 所述晶圆的确定中心点。 9.根据权利要求1所述的方法， 其特征在于， 获取晶圆边界图像中第 一目标位置对应的 第一晶圆边界点 集合， 以及第二目标位置对应的第二晶圆边界点 集合前， 还包括： 对晶圆边界图像进行图像滤波和/或对比度增强处 理； 基于动态阈值对所述晶圆边界图像进行二 值化处理， 得到二 值化图像； 对所述二值化图像进行形态学处理， 获取最大轮廓后计算轮廓边界点， 该轮廓边界点 为晶圆边界点。 10.一种定位晶圆的中心点的装置， 其特 征在于， 包括： 获取模块， 用于获取晶圆边界图像中第一目标位置对应的第一晶圆边界点集合， 以及 第二目标位置对应的第二晶圆边界点集合， 其中， 所述第一 目标位置与所述第二 目标位置 为沿着晶圆的边 缘划分的两个预定位置； 组合模块， 用于将所述第 一晶圆边界点集合中的第 一晶圆边界点与 所述第二晶圆边界 点集合中的第二晶圆边界点进行随机组合， 得到多组边界点对； 第一确定模块， 用于确定所述多组边界点对中每一对边界点之间的连线得到多条连 线； 第二确定模块， 用于获取所述多条连线中各个连线对应的各中垂线， 根据所述各中垂 线交点确定所述晶圆的中心点。 11.一种非易失性存储介质， 其特征在于， 所述存储介质包括存储的程序， 其中， 在所述 程序运行时控制所述存储介质所在设备执行权利要求1至9中任意一项所述定位晶圆的中 心点的方法。 12.一种电子设备， 其特 征在于， 包括： 处理器； 用于存储所述处 理器可执行指令的存 储器； 其中， 所述处理器被配置为执行所述指令， 以实现如权利要求1至9中任一项所述的定 位晶圆的中心点的方法。权　利　要　求　书 2/2 页 3 CN 115546143 A 3