(19)国家知识产权局 (12)发明 专利申请 (10)申请公布号 (43)申请公布日 (21)申请 号 202211211312.8 (22)申请日 2022.09.30 (71)申请人 魅杰光电科技 （上海） 有限公司 地址 200120 上海市浦东 新区中国(上海) 自由贸易试验区临港新片区海洋一路 333号1号楼、 2号楼 (72)发明人 田东卫　温任华　 (74)专利代理 机构 无锡知之 火专利代理事务所 (特殊普通 合伙) 32318 专利代理师 朱爱进 (51)Int.Cl. G06T 5/00(2006.01) G06T 7/00(2017.01) G06T 7/60(2017.01) (54)发明名称 用于晶圆的图像灰度值调节方法 (57)摘要 本发明主要涉及到一种用 于晶圆的图像灰 度值调节方法。 灰度值调节方法在晶圆拍摄图像 上选择一个区域， 将该区域的被选定的数个像素 点的灰度值进行分级， 记录每一种等级下的灰度 值的数目； 其中， 满足等级不低于一个动态灰度 级条件的任一级别的灰度值与其数目相乘， 以计 算出该任一级别灰度值对应的灰度积， 并且该区 域所有符合该条件的灰度积相加得到灰度和； 统 计等级不低于该动态灰度级的所有灰度值的总 数； 该区域的等效灰度值等于灰度和除以总数， 改变光强来让等效灰度值 适配到预定灰度值。 权利要求书2页 说明书16页 附图8页 CN 115546062 A 2022.12.30 CN 115546062 A 1.一种用于晶圆的图像灰度值调节方法， 其特 征在于： 在晶圆被拍摄的图像上选择一个区域， 将该区域的被选定的数个像素点的灰度值进行 分级， 记录每一种等级下的灰度值的数目； 满足等级不低于一个动态灰度级条件的任一级别的灰度值与其数目相乘， 以计算出该 任一级别灰度值对应的灰度积， 该区域所有符合该 条件的灰度积相加得到灰度和； 统计等级不低于所述动态灰度级的所有灰度值的总数； 该区域的等效灰度值等于所述的灰度和除以所述总数， 通过改变拍摄晶圆所需的光强 来让所述的等效灰度值 适配到预定灰度值。 2.根据权利要求1所述的方法， 其特 征在于： 被选定的数个 像素点为该区域的全部像素点或局部像素点。 3.根据权利要求1所述的方法， 其特 征在于： 在该区域设定一个横向跨度以及一个纵向跨度， 以所述纵向跨度为纵向上的移动尺度 来跳过一些像素行、 以所述横向跨度为横向上 的移动尺度来跳过一些像素列， 被保留的像 素行和像素列视为选 定的数个 像素点。 4.根据权利要求1所述的方法， 其特 征在于： 被选定的数个像素点的灰度值中具有最高灰度级和最低灰度级， 最高灰度级和/或最 低灰度级越大则所述动态灰度级越大， 或反 之亦然。 5.根据权利要求1所述的方法， 其特 征在于： 在拍摄位于晶圆的不同位置的各个图像的阶段， 所述的方法用于挽回不同位置的图像 灰度值失配。 6.根据权利要求6所述的方法， 其特 征在于： 所述图像至少用于检测晶圆上指定结构的尺寸或分析晶圆上 是否存在着缺陷。 7.根据权利要求1所述的方法， 其特 征在于： 灰度值被分级在0 至255的等级区间。 8.一种用于晶圆的图像灰度值调节方法， 其特 征在于： 在晶圆的不同位置采样图像时， 在任一图像上选择一个区域， 将该区域的被选定的数 个像素点的灰度值进行分级， 记录每一种等级下的灰度值的数目； 满足等级不低于一个动态灰度级条件的任一级别的灰度值与其数目相乘， 以计算出该 任一级别灰度值对应的灰度积， 该区域所有符合该 条件的灰度积相加得到灰度和； 统计等级不低于所述动态灰度级的所有灰度值的总数； 该区域的等效灰度值 等于所述的灰度和除以所述总数； 每采样一 次图像则调整一 次采样时刻的光强， 使得不同图像各自选择的区域所分别对 应的一系列等效灰度值趋 于相同。 9.根据权利要求8所述的方法， 其特 征在于： 在任一图像对应的一个区域中， 其被选定的数个像素点的灰度值中具有最高灰度级和 最低灰度级， 最高灰度级和/或最低灰度级越大则所述动态灰度级越大， 或反 之亦然。 10.根据权利要求8所述的方法， 其特 征在于： 在该区域以一纵向跨度为纵向上的移动尺度来跳过一些像素行、 以一横向跨度为横向 上的移动尺度来跳过一些像素列， 保留的像素 行和像素列视为选 定的数个 像素点；权　利　要　求　书 1/2 页 2 CN 115546062 A 2通过调节横向跨度及纵向跨度的数值， 藉此来调整该区域的等效灰度值相对于该区域 的原始灰度值的分辨 率。权　利　要　求　书 2/2 页 3 CN 115546062 A 3