(19)国家知识产权局 (12)发明 专利 (10)授权公告 号 (45)授权公告日 (21)申请 号 202211187019.2 (22)申请日 2022.09.28 (65)同一申请的已公布的文献号 申请公布号 CN 115265804 A (43)申请公布日 2022.11.01 (73)专利权人 深圳优普莱等离 子体技术有限公 司 地址 518000 广东省深圳市光明区光明街 道东周社区双明大道315号易方大厦 1308 (72)发明人 顾亚骏　蒋礼　全峰　 (74)专利代理 机构 深圳市君胜知识产权代理事 务所(普通 合伙) 44268 专利代理师 陈专 (51)Int.Cl. G01J 5/48(2006.01) G06T 7/00(2017.01) G06T 7/73(2017.01) G06T 7/90(2017.01)G16C 60/00(2019.01) G06F 16/2458(2019.01) G06F 16/248(2019.01) C30B 35/00(2006.01) C30B 29/04(2006.01) (56)对比文件 CN 111579619 A,2020.08.25 CN 110455984 A,2019.1 1.15 CN 109798981 A,2019.0 5.24 WO 2022121711 A1,202 2.06.16 CN 111964789 A,2020.1 1.20 CN 108254084 A,2018.07.0 6 CN 108020 352 A,2018.0 5.11 CN 103063328 A,2013.04.24 CN 111920391 A,2020.1 1.13 CN 114774880 A,202 2.07.22 US 2022058789 A1,202 2.02.24 CN 106017690 A,2016.10.12 (续) 审查员 薛正燕 (54)发明名称 一种金刚石籽晶信息测量方法及相关 设备 (57)摘要 本发明公开了一种金刚石籽晶信息测量方 法及相关设备， 获取红外摄像头拍摄金刚石籽晶 晶体的红外光图片， 确定各个金刚石籽晶的位 置， 并得到红外摄像头测得目标金刚石籽晶的温 度； 读取金刚石籽晶生长的相关工艺参数、 目标 金刚石籽晶的温度以及目标金刚石籽晶对应点 的RGB值， 根据参数曲线方程计算除开目标金刚 石籽晶外每片金刚石籽晶中心区域的金刚石籽 晶温度， 并与临界值进行对比， 当出现金刚石籽 晶温度异常时， 发送告警提醒给用户终端； 将数 据保存到 数据库， 并统计分析数据后生成金刚石 籽晶信息统计图。 本发明对多个金刚石籽晶进行 温度测量， 实现了高效率测温， 并根据测量的温 度及时掌握每个金刚石籽晶的温度情况， 有利于高品质金刚石的生长 。 [转续页] 权利要求书2页 说明书8页 附图3页 CN 115265804 B 2022.12.20 CN 115265804 B (56)对比文件 WO 2022121711 A1,202 2.06.16 GB 201202 953 D0,2012.04.04 曾庆永等.基 于DSP处理器的红外测温系统 的设计. 《电光与控制》 .2012,第19卷(第07期), 第85-88页. 谭险峰等.基 于红外测温技 术的焊接温度场数值仿真研究. 《红外技 术》 .2004,第26卷(第6 期),第93 -96页. Reichle, R等.Surface temperature measurements o n Tokamak target plates with two types of i nfra red. 《JOURNAL OF NUCLEAR MATERIALS》 .20 03,第313卷第71 1-715 页.2/2 页 2[接上页] CN 115265804 B1.一种金刚石籽晶信息测量方法， 其特 征在于， 所述金刚石籽晶信息测量方法包括： 智能自动测温系统获取红外摄像头拍摄金刚石籽晶晶体的红外光图片， 根据处理后的 所述红外光图片确定各个所述金刚石籽晶的位置， 并得到所述红外摄像头测得目标金刚石 籽晶的温度； 所述智能自动测温系统获取红外摄像头拍摄金刚石籽晶晶体的红外光图片， 根据处理 后的所述红外光图片确定各个所述金刚石籽晶的位置， 并得到所述红外摄像头测得目标金 刚石籽晶 的温度， 具体包括： 所述智能自动测温系统获取所述红外摄像头拍摄所述金刚石籽晶晶体的所述红外光 图片， 将所述红外光图片按比例进行缩放处 理； 所述智能自动测温系统通过图像模板匹配方式和图片中心区域的RGB值判断所述红外 光图片是否为有测温价 值的图片； 若所述红外光图片为有测温价值的图片， 所述智能自动测温系统对所述红外光图片进 行高斯模糊处 理； 所述智能自动测温系统通过yolov5技术训练好的识别金刚石籽晶的模型检测所述红 外光图片中各个所述金刚石籽晶 的位置； 所述智能自动测温系统根据所述红外摄像头固定的温度测量位置得到所述红外摄像 头测得所述目标金刚石籽晶的温度， 所述目标金刚石籽晶为所有金刚石籽晶中的任意一 个； 所述智能自动测温系统读取所述金刚石籽晶生长的相关工艺参数、 所述红外摄像头测 得所述目标金刚石籽晶的温度以及所述红外摄像头对准的所述红外光图片中所述目标金 刚石籽晶对应点的RGB值， 根据参数曲线方程计算除开所述 目标金刚石籽晶外每片金刚石 籽晶中心区域的金刚石籽晶温度； 所述智能自动测温系统读取所述金刚石籽晶生长的相关工艺参数、 所述红外摄像头测 得所述目标金刚石籽晶的温度以及所述红外摄像头对准的所述红外光图片中所述目标金 刚石籽晶对应点的RGB值， 根据参数曲线方程计算除开所述 目标金刚石籽晶外每片金刚石 籽晶中心区域的金刚石籽晶温度， 具体包括： 所述智能自动测温系统通过modbus协议读取记录在PLC中的所述金刚石籽晶生长的相 关工艺参数、 所述红外摄像头测得所述目标金刚石籽晶的温度以及所述红外摄像头对准的 所述红外光图片中所述目标金刚石籽晶对应点的RGB值， 所述相关工艺参数包括气 体种类、 气体流量、 微波功率和压强； 根据所述金刚石籽晶生长的所述相关工艺参数匹配对应的所述参数曲线方程， 将所述 红外摄像头测得所述目标金刚石籽晶的温度以及所述红外摄像头对准的所述红外光图片 中所述目标金刚石籽晶对应点的RGB值代入到所述参数曲线方程中， 计算得到除开所述目 标金刚石籽晶外每片所述金刚石籽晶中心区域的所述金刚石籽晶温度； 所述智能自动测温系统将除开所述目标金刚石籽晶外计算得到的每片金刚石籽晶中 心区域的温度与系统设置的临界值进 行对比， 当出现金刚石籽晶温度超过高温临界值或者 低于低温临界值时， 发送告警提醒 给用户终端； 所述智能自动测温系统将一定周期内的数据保存到数据库， 并统计分析一定周期内的 数据后生成金刚石籽晶信息统计图。权　利　要　求　书 1/2 页 2 CN 115265804 B 3