(19)国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告 号 (45)授权公告日 (21)申请 号 202123427348.3 (22)申请日 2021.12.31 (73)专利权人 昆山晟成光电科技有限公司 地址 215300 江苏省苏州市昆山市巴城镇 迎宾西路16 01号C2栋 (72)发明人 胡宇航　张灯皇　范鹏　 (74)专利代理 机构 广州市时代知识产权代理事 务所(普通 合伙) 44438 专利代理师 姜洪颖　李春荣 (51)Int.Cl. F26B 21/00(2006.01) F26B 21/06(2006.01) C23C 14/58(2006.01) (ESM)同样的发明创造已同日申请发明 专利 (54)实用新型名称 一种气流均匀的风速可调式干燥喷头装置 (57)摘要 本实用新型公开了一种气流均匀的风速可 调式干燥喷头装置， 涉及表面干燥技术领域， 包 括进气分气板和喷头主体， 进气分气板表面设置 有卡套接头喷头主体底部固定安装有出气调节 挡板， 喷头主体的表面固定安装有抽气匀气板， 进气分气板的分气流道与出气口垂直分布， 进气 分气板与喷头主体之间形成2n分气结构， 抽气匀 气板与喷头主体之间形成2n分气结构， 具备了通 过设置喷头进气分气结构， 从总入口到喷头出口 每根流道的阻力相同， 可以保证出口速度均匀 性， 并设置匀气流场每根流道均通过2n结构， 于 水平方向分布 流道， 极大减少设备垂直方向浪费 的空间， 从而实现在较长截面的空间保证气体流 速均匀性， 提高设备镀膜质量的效果。 权利要求书1页 说明书3页 附图2页 CN 217303517 U 2022.08.26 CN 217303517 U 1.一种气流均匀的风速可调式干燥喷头装置， 包括进气分气板(1)和喷头主体(5)， 其 特征在于： 所述进气分气板(1)和所述喷头主体(5)之间设置有密封垫(3)， 所述进气分气 板 (1)表面设置有卡套接头(4)， 所述喷头主体(5)表 面设置有快拧接头(6)， 所述喷头主体(5) 底部固定安装有出气调节挡板(2)， 所述喷头主体(5)的表面固定安装有抽气匀气板(7)。 2.根据权利要求1所述的气流均匀的风速可调式干燥喷头装置， 其特征在于： 所述进气 分气板(1)的分气流道与出气口垂直分布， 从而减小喷头体积。 3.根据权利要求1或2所述的气流均匀的风速可调式干燥喷头装置， 其特征在于： 所述 进气分气板(1)与所述喷头主体(5)之间形成2n分气结构。 4.根据权利要求3所述的气流均匀的风速可调式干燥喷头装置， 其特征在于： 所述抽 气 匀气板(7)与所述喷头主体(5)之间形成2n分气结构， 从而保证喷头下方气体被均匀抽走， 在喷头下 方出气口和抽气口之间形成均匀的气流层。 5.根据权利要求1所述的气流均匀的风速可调式干燥喷头装置， 其特征在于： 所述出气 调节挡板(2)可以通过腰形孔调整出气口 的间隙， 从而控制出气流速 。权　利　要　求　书 1/1 页 2 CN 217303517 U 2一种气流均匀的风速 可调式干 燥喷头装 置 技术领域 [0001]本实用新型涉及表面干燥技术领域， 具体为一种气流均匀的风速可调式干燥喷头 装置。 背景技术 [0002]在真空镀膜设备或太阳能行业设备 中， 制备薄膜普遍使用的量产设备中的喷头风 速靠近总进气口位置风速高于两侧， 会导致表面膜层厚度的不均匀， 并且工艺所需要的流 量和流速很难调节到合适的值， 使 得设备镀膜质量较差， 针对 上述问题， 有必 要提出进一步 的解决方案 。 实用新型内容 [0003]本实用新型的目的在于提供一种气流均匀的风速可调式干燥喷头装置， 具备了通 过设置喷头进气分气结构， 从总入口到喷头出 口每根流道的阻力相同， 可以保证出 口速度 均匀性， 并设置匀气流场每根流道均通过2n结构， 于水平方向分布流道， 极大减少设备垂直 方向浪费的空间， 从而实现在较长截面的空间保证气体流速均匀 性， 提高设备镀膜质量的 效果， 解决了上述背景技 术中所提出的技 术问题。 [0004]为实现上述目的， 本实用新型提供如下技术方案： 一种气流均匀的风速可调式干 燥喷头装置， 包括进气分气板和喷头主体， 所述进气分气板和所述喷头主体之间设置有密 封垫， 所述进气分气 板表面设置有卡套接头， 所述喷头主体表面设置有 快拧接头， 所述喷头 主体底部固定安装有出气调节挡板， 所述喷头主体的表面固定安装有抽气匀气板 。 [0005]可选的， 所述进气分气板的分气流道与出气口垂直分布， 从而减小喷头体积。 [0006]可选的， 所述进气分气板与所述喷头主体之间形成2n分气结构。 [0007]可选的， 所述抽气匀气板与所述喷头主体之间形成2n分气结构， 从而保证喷头下 方气体被均匀抽走， 在喷头下 方出气口和抽气口之间形成均匀的气流层。 [0008]可选的， 所述出气调节挡板可以通过腰形孔调整出气口的间隙， 从而控制 出气流 速。 [0009]与现有技 术相比， 本实用新型的有益效果如下： [0010]一、 本实用新型通过设置进气分气板 的分气流道与出气口垂直， 可以大幅减小喷 头体积， 进气分气板从总入口到喷头出口每根 流道的阻力相同， 可以保证出口速度均匀性。 [0011]二、 本实用新型通过设置出气调节挡板， 可以通过水平调节出口大小来改变目标 流量下的出口流速， 以满足特定 工艺需求， 提高了装置的实用性。 [0012]三、 本实用新型通过设置抽气匀气板， 抽气匀气板与喷头主体之间形成2n分气结 构， 可以保证 喷头下方气体被均匀抽走， 从而在喷头下方出气口和抽气口之间形成均匀的 气流层， 保证抽气口下方 的压力在垂直于流速方向的一致性， 从而避免抽气口中心位置流 速过大的问题。说　明　书 1/3 页 3 CN 217303517 U 3