(19)中华 人民共和国 国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告 号 (45)授权公告日 (21)申请 号 2021232151 12.3 (22)申请日 2021.12.20 (73)专利权人 中科九微科技有限公司 地址 637000 四川省南充市顺庆区潆华北 路四段299号 (72)发明人 罗守庚　邓高飞　陈林　 (74)专利代理 机构 北京三聚阳光知识产权代理 有限公司 1 1250 代理人 向长松 (51)Int.Cl. F16F 15/067(2006.01) F16F 15/02(2006.01) (54)实用新型名称 一种隔振 装置及具有其的分子泵 (57)摘要 本实用新型提供的一种隔振装置及具有其 的分子泵， 属于分子泵技术领域， 隔振装置包括： 连接组件， 具有适于与真空腔室连接的第一连接 件和适于与分子泵连接的第二连接件； 所述第一 连接件和第二连接件之间设置有缓冲结构； 连通 管， 一端与第一连接件连接， 另 一端与第二连接 件连接； 本实用新型的隔振装置， 所述连接组件 内设置有缓冲结构， 当该真空腔室具有较大的振 动时， 该隔振装置可 以吸收一些振动， 减弱传递 到分子泵的振动， 使得分子泵工作在良好的工 况， 且分子泵自身具有好的工作性能， 不易发生 故障。 权利要求书1页 说明书4页 附图1页 CN 216430383 U 2022.05.03 CN 216430383 U 1.一种隔振 装置， 其特 征在于， 包括： 连接组件， 具有适于与真空腔室(1)连接的第一连接件(3)和适于与分子泵(2)连接的 第二连接件(4)； 所述第一连接件(3)和第二连接件(4)之间设置有缓冲结构； 连通管(14)， 一端与第一连接件(3)连接， 另一端与第二连接件(4)连接 。 2.根据权利要求1所述的隔振 装置， 其特 征在于， 所述缓冲结构包括： 第一安装件(6)， 成环状， 套设在 所述连通管(14)的外圈； 所述第一安装件(6)的一端与 第一连接件(3)连接； 第二安装件(7)， 成环状， 套设在 所述连通管(14)的外观； 所述第二安装件(7)的一端与 第二连接件(4)连接； 所述第一 安装件(6)和第二 安装件(7)之间通过固定结构连接； 减震垫(10)， 设置在第一 安装件(6)和第二 安装件(7)之间。 3.根据权利要求2所述的隔振装置， 其特征在于， 所述固定结构具有多组； 围绕所述连 通管(14)间隔设置 。 4.根据权利要求3所述的隔振 装置， 其特 征在于， 所述固定结构包括： 第一固定 部(8)， 与第一 安装件(6)连接， 朝向远离所述连通管(14)的中心方向伸出； 第二固定部(9)， 与第二安装件(7)连接， 朝向远离所述连通管(14)的中心方向伸出； 所 述第二固定 部(9)与所述第一固定 部(8)相对设置； 连接件， 穿设在第一固定 部(8)和第二固定 部(9)上。 5.根据权利要求4所述的隔振装置， 其特征在于， 所述第一固定部(8)和所述第二固定 部(9)上均设置有安装孔； 所述连接件为螺杆(11)； 所述螺杆(11)穿设在所述安装孔内， 且 上端旋拧 有螺母(12)。 6.根据权利要求5所述的隔振 装置， 其特 征在于， 还 包括： 减震件(13)， 套设在所述螺杆(11)上； 所述减震件(13)的两端分别与螺母(12)和固定 部固定部抵接。 7.根据权利要求2所述的隔振装置， 其特征在于， 所述第一连接件(3)所述第二连接件 (4)均为法兰。 8.根据权利要求1所述的隔振 装置， 其特 征在于， 还 包括： 密封中心 支架(15)， 设置在第一连接件(3)与真空腔室(1)之间。 9.根据权利要求1 ‑7中任一项所述的隔振装置， 其特征在于， 所述第一连接件(3)与所 述真空腔室(1)之间、 所述第二连接件(4)与所述分子泵(2)之间均由多个卡钳螺钉(5)固定 连接。 10.一种分子泵， 其特 征在于， 包括权利要求1 ‑9中任一项所述的隔振 装置。权　利　要　求　书 1/1 页 2 CN 216430383 U 2一种隔振装置及具有其的分子泵 技术领域 [0001]本实用新型 涉及分子泵技 术领域， 具体涉及一种隔振 装置及具有其的分子泵。 背景技术 [0002]分子泵是利用高速旋转的动叶轮将动量传给气体分子， 使气体产生定向流动而抽 气的真空泵。 分子泵 是一种主流的真空获得设备， 因其稳定的性能、 耐大气冲击能力强和几 乎无油蒸气污染等优点， 广泛用于需要获得高真空度的应用领域。 [0003]但是， 当分子泵应用于一些便携式仪器和车载仪器中， 其使用环境具有较强的振 动和冲击， 因此， 在使用的过程中， 分子泵受到较大的振动和冲击， 容易导致分子泵的性能 不足或者发生故障。 实用新型内容 [0004]因此， 本实用新型要解决的技术问题在于克服现有技术中的分子泵受到较大的振 动和冲击， 容 易导致分子泵的性能不足或者发生故障， 从而提供一种隔振 装置。 [0005]本实用新型还提供一种具有该隔振 装置的分子泵。 [0006]为解决上述 技术问题， 本实用新型提供的一种隔振 装置， 包括： [0007]连接组件， 具有适于与真空腔室连接的第一连接件和适于与分子泵连接的第二连 接件； 所述第一连接件和第二连接件之间设置有缓冲结构； [0008]连通管， 一端与第一连接件连接， 另一端与第二连接件连接 。 [0009]作为优选方案， 所述缓冲结构包括： [0010]第一安装件， 成环状， 套设在所述连通管的外圈； 所述第一安装件的一端与第一连 接件连接； [0011]第二安装件， 成环状， 套设在所述连通管的外观； 所述第二安装件的一端与第二连 接件连接； 所述第一 安装件和第二 安装件之间通过固定结构连接； [0012]减震垫， 设置在第一 安装件和第二 安装件之间。 [0013]作为优选方案， 所述固定结构具有 多组； 围绕所述连通管间隔设置 。 [0014]作为优选方案， 所述固定结构包括： [0015]第一固定 部， 与第一 安装件连接， 朝向远离所述连通管的中心方向伸出； [0016]第二固定部， 与第二安装件连接， 朝向远离所述连通管的中心方向伸出； 所述第二 固定部与所述第一固定 部相对设置； [0017]连接件， 穿设在第一固定 部和第二固定 部上。 [0018]作为优选方案， 所述第一固定部和所述第二固定部上均设置有安装孔； 所述连接 件为螺杆； 所述螺杆穿设在所述 安装孔内， 且上端旋拧 有螺母。 [0019]作为优选方案， 还 包括： [0020]减震件， 套设在所述螺杆 上； 所述减震件的两端分别与螺母和固定 部固定部抵接。 [0021]作为优选方案， 所述第一连接件所述第二连接件均为法兰。说　明　书 1/4 页 3 CN 216430383 U 3