(19)国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告 号 (45)授权公告日 (21)申请 号 202123336753.4 (22)申请日 2021.12.27 (73)专利权人 广东先导先进材 料股份有限公司 地址 511517 广东省清远市高新区百嘉工 业园27-9号B区 (72)发明人 郑金龙　况正东　周铁军　廖彬　 杨小丽　陈红姣　 (74)专利代理 机构 广州三环 专利商标代理有限 公司 44202 专利代理师 颜希文　宋亚楠 (51)Int.Cl. B26D 1/06(2006.01) B26D 7/26(2006.01) (54)实用新型名称 一种切膜工具 (57)摘要 本实用新型涉及半导体材料制造技术领域， 公开了一种切膜工具， 其包括切膜刀、 切割板和 外壳， 切膜刀包括若干个沿X轴设置的第一刀片 以及若干个沿Y轴设置的第二刀片， 第一刀片和 第二刀片相互交叉形成多个十字形切割结构， 切 割板设于切膜刀的顶部并与其固定连接， 外壳则 设于切割板的外侧并包绕切割板， 外壳呈长方体 状设置， 切割板可在外壳内沿Z轴滑动， 外壳的内 侧壁上设有若干个限位片。 与现有技术相比， 该 切膜工具能够一次性完成多片晶片的切膜操作， 结构设计巧 妙、 切膜效率高、 切膜效果出色， 不会 因操作人员的熟练度出现限制， 避免了原有的切 膜方法对晶片和操作人员造成的损伤， 降低了操 作风险， 使用体验好。 权利要求书1页 说明书4页 附图3页 CN 217195501 U 2022.08.16 CN 217195501 U 1.一种切膜工具， 其特 征在于， 包括： 切膜刀， 所述切膜刀包括若干个沿X轴设置的第 一刀片以及若干个沿Y轴设置的第二刀 片， 所述第一刀片和所述第二刀片相互 交叉形成多个十 字形切割结构； 切割板， 设于所述切膜刀的顶部并与所述切膜刀固定连接； 外壳， 设于所述切割板的外侧并包绕所述切割板， 所述外 壳呈长方形， 所述切割板可在 所述外壳 内沿Z轴滑动， 所述外壳的内侧壁上设有限位片。 2.根据权利要求1所述的切膜工具， 其特征在于， 所述切割板呈长方体状设置， 所述切 割板上设有与所述切膜刀相匹配的装配槽 。 3.根据权利要求1所述的切膜工具， 其特征在于， 所述 限位片设有四片， 四片所述 限位 片分别位于所述外壳的四角处。 4.根据权利要求1或3所述的切膜工具， 其特征在于， 所述 限位片朝向所述切膜刀的一 侧设有复位弹簧， 所述复位弹簧的两端分别与所述限位片和所述切割板相连接 。 5.根据权利要求1所述的切 膜工具， 其特征在于， 所述切割板的顶部设有呈圆柱状设置 的按压块。 6.根据权利要求5所述的切膜工具， 其特 征在于， 所述按压块设有两块。 7.根据权利要求1所述的切膜工具， 其特征在于， 所述第一刀片设有一片， 所述第二刀 片设有三片， 所述第一刀片与各 所述第二刀片相互 交叉形成八块切割区域。 8.根据权利要求1所述的切 膜工具， 其特征在于， 所述外壳的顶部设有与所述外 壳固定 连接的限位杆。 9.根据权利要求8所述的切膜工具， 其特征在于， 所述 限位杆设有两根以上， 各所述 限 位杆沿所述外壳的长度方向依次设置 。权　利　要　求　书 1/1 页 2 CN 217195501 U 2一种切膜工具 技术领域 [0001]本实用新型 涉及半导体材 料制造技 术领域， 特别是 涉及一种切膜工具。 背景技术 [0002]随着光电子器件的飞速发展， 以砷化镓和锗等为代表的半导体材料产业线逐渐趋 于成熟化， 其被广泛应用于卫星通讯、 移动通讯、 光 通信、 太阳能电池等领域。 [0003]当然在实际生产中部分工序仍然需要改进， 其中以锗为例， 晶片贴膜这一工序中 在晶片的背面贴设一层 UV膜， UV膜能够将晶片与药液进 行隔离以避免残留的药液对晶片 造 成损伤进而增加制作成本， 是锗的生产中非常重要的一个工序。 现有操作中会将六至八片 晶片贴至UV膜上， 随后采用人工对UV膜进行切割以实现各晶片的分离， 人工切割的操作效 率低下， 对操作人员的熟练度也提出了较高的要求， 操作不慎时还会割伤晶片或操作人员， 存在一定的操作风险。 实用新型内容 [0004]为解决上述技术问题， 本实用新型的目的是提供一种切膜工具， 其具有结构设计 巧妙、 切割效率高等优点。 [0005]基于此， 本实用新型提供了一种切膜工具， 其包括 [0006]切膜刀， 所述切膜刀包括若干个沿X轴设置的第一刀片以及若干个沿Y轴设置的第 二刀片， 所述第一刀片和所述第二刀片相互 交叉形成多个十 字形切割结构； [0007]切割板， 设于所述切膜刀的顶部并与所述切膜刀固定连接； [0008]外壳， 设于所述切割板的外侧并包绕所述切割板， 所述外壳呈长方形， 所述切割板 可在所述外壳 内沿Z轴滑动， 所述外壳的内侧壁上设有限位片。 [0009]本申请的一些实施例中， 所述切割板呈长方体状设置， 所述切割板上设有与所述 切膜刀相匹配的装配槽 。 [0010]本申请的一些实施例中， 所述限位片设有四片， 四片所述限位片分别位于所述外 壳的四角处。 [0011]本申请的一些实施例中， 所述限位片朝向所述切膜刀的一侧 设有复位弹簧， 所述 复位弹簧的两端分别与所述限位片和所述切割板相连接 。 [0012]本申请的一些实施例中， 所述切割板的顶部设有呈圆柱状设置的按压块。 [0013]本申请的一些实施例中， 所述按压块设有两块。 [0014]本申请的一些实施例中， 所述第一刀片设有一片， 所述第二刀片设有三片， 所述第 一刀片与各 所述第二刀片相互 交叉形成八块切割区域。 [0015]本申请的一些实施例中， 所述外壳的顶部设有与所述外壳 固定连接的限位杆。 [0016]本申请的一些实施例中， 所述限位杆设有两根以上， 各所述限位杆沿所述外壳的 长度方向依次设置 。 [0017]本实用新型实施例提供了一种切膜工具， 与现有技 术相比， 其有益效果在于：说　明　书 1/4 页 3 CN 217195501 U 3