(19)国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告 号 (45)授权公告日 (21)申请 号 202123107202.0 (22)申请日 2021.12.10 (73)专利权人 江阴市纪泽 万家科技有限公司 地址 214400 江苏省无锡市江阴市高新区 金山路201号智慧坊B5层 (72)发明人 孙杭州　孙斌　 (74)专利代理 机构 江阴市轻舟专利代理事务所 (普通合伙) 32380 专利代理师 江霞 (51)Int.Cl. B05C 11/08(2006.01) B05C 11/10(2006.01) B05C 13/02(2006.01) B05C 11/11(2006.01) (54)实用新型名称 一种带光路的匀胶机 (57)摘要 本实用新型提出一种带光路的匀胶机， 包括 匀胶机本体， 匀胶机本体包括第一机座、 第二机 和涂膜工作基座， 第二机座内部设有光路气路多 用途旋转机构， 第一机座的内腔顶部设有光源组 件， 涂膜工作基座内部的工作腔底部设有排气 管。 本实用新型可在旋涂过程中吸收光谱、 荧光 光谱和反射光谱的动态变化， 用于跟踪溶剂挥 发、 溶剂退火、 热退火过程中的材料相变， 并在化 学反应动力学、 生化过程的跟踪检测方面具有优 势， 排气泵机通过多条对称设置的导气管使 得排 气管进行抽气工作， 而由于排气管座顶部开设有 呈圆环形的排气槽口， 且排气管与涂膜工作基座 的工作腔呈同轴度设置， 排气过程中， 排气均匀， 不产生气流紊 乱， 保证基片上涂膜的精度。 权利要求书2页 说明书4页 附图5页 CN 217165141 U 2022.08.12 CN 217165141 U 1.一种带光路的匀胶机， 包括匀胶机本体， 其特征在于， 所述匀胶机本体包括第 一机座 (1)， 第一机座(1)顶部固定有第二机座(2)， 第二机座(2)顶部固定有涂膜工作基座(3)， 涂 膜工作基座(3)的一侧通过一对合页连接有防反溅顶盖(301)， 防反溅顶盖(301)配合罩设 于涂膜工作基座(3)上端口， 涂膜工作基座(3)与防反溅顶盖(301)之间形成相对封闭的工 作腔， 所述第二机座(2)内部设有光路气路多用途旋转机构(4)， 光路气路多用途旋转机构 (4)包括设置于第二机座(2)内部的电动机(401)， 电动机(401)中的电动转轴(402)呈垂直 向上贯穿至涂膜工作基座(3)的工作腔中， 所述第二机座(2)的顶部通过螺栓连接有 上支撑 座(201)， 上支撑座(201)配合支撑电动机(401)的顶部， 第二机座(2)的底部通过螺栓连接 有下支撑座(202)， 且下支撑座(202)配合支撑电动机(401)的底部， 所述电动转轴(402)的 上端固定连接有吸盘安装座(5)， 吸盘安装座(5)的上端通过螺栓连接有吸盘(501)， 所述第 一机座(1)的内腔顶部设有光源组件(7)， 光源组件(7)对应 设置在电动转轴(402)的正下方 位置， 所述第二机座(2)的一侧壁设有控制面板(8)， 所述涂膜工作基座(3)内部的工作腔底 部设有排气管(9)。 2.根据权利要求1所述的一种带光路的匀胶机， 其特征在于， 所述电动转轴(402)为延 伸出电动机(401)上下端部的空心轴 体， 吸盘安装座(5)、 吸盘(501)对应电动转轴(402)的 内部通道位置开设有光路气路混用通孔， 电动转轴(402)的下端 连接有气转接头(2022)， 气 转接头(2022)配合固定于下支撑座(202)内部， 下支撑座(202)内部开设有与气转接头 (2022)相连通的排气内通道(2021)， 且排气内通道(2021)的外端口通过管接件 连接有排气 泵机(6)。 3.根据权利要求1或2所述的一种带光路的匀胶机， 其特征在于， 所述光源组件(7)由通 过螺栓固定于第一机座(1)内腔顶部的光源安装座(701)， 光源安装座(701)底部通过螺栓 固定与光源发生器(702)， 且光源发生器(702)的光源发射方 向与电动转轴(402)呈同轴度 设置， 光源发生器(702)的发射光源沿电动转轴(402)以及吸盘安装座(5)、 吸盘(501)所设 的光路气路混用通 孔贯穿。 4.根据权利要求1所述的一种带光路的匀胶机， 其特征在于， 所述防反溅顶盖(301)的 顶部开设有监测窗口， 且检测窗口 的开口处通过螺 栓固定连接有透光板(3 011)。 5.根据权利 要求2或4所述的一种带光路的匀胶机， 其特征在于， 所述防反溅顶盖(301) 顶部设有光纤信号收集设备， 光纤信号收集设备的信号采集端设置于吸盘安装座(5)、 吸盘 (501)所设光路气路混用通 孔的正上 方。 6.根据权利要求1所述的一种带光路的匀胶机， 其特征在于， 所述控制面板(8)上集合 有位于外部的显示屏， 且显示屏为可触控显示屏。 7.根据权利要求1所述的一种带光路的匀胶机， 其特征在于， 所述涂膜工作基座(3)内 部的工作腔为圆形内腔， 且排气管(9)为与涂膜工作基座(3)的工作腔呈同轴 度设置的圆环 形气管体。 8.根据权利要求2或7所述的一种带光路的匀胶机， 其特征在于， 所述排气管(9)由底部 的排气管座(901)以及顶部的排气管盖(902)构成， 排气管盖(902)顶部开设有圆环形排气 槽口(9021)， 排气管座(901)与排气管盖(902)上一体成型有相对应的螺栓耳座(903)， 且其 相对应设置的螺栓耳座(903)通过螺栓螺母件固定， 排气管座(901)与排气管盖(902)的贴 合面之间设有密封胶垫(904)。权　利　要　求　书 1/2 页 2 CN 217165141 U 29.根据权利要求8所述的一种带光路的匀胶机， 其特征在于， 所述排气管(9)底部连接 有8‑10条导气管(10)， 且多条导气管(10)沿排气管(9)的中心呈环形阵列设置， 下支撑座 (202)内部开设有多道与导气管(10)相对应的排气内通道(2021)， 且导气管(10)的底端与 相对应的排气内通道(2021)通过 管接件连接 。 10.根据权利要求9所述的一种带光路的匀胶机， 其特征在于， 所述排气管(9)的内部设 有与其内腔相配适贴合的储存槽(905)， 且储存槽(905)与导气管(10)的相接口位置设有细 滤网层。权　利　要　求　书 2/2 页 3 CN 217165141 U 3